[发明专利]镀覆膜以及镀覆工具在审
| 申请号： | 202010965920.2 | 申请日： | 2020-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN113265688A | 公开（公告）日： | 2021-08-17 |
| 发明（设计）人： | 陈永祥;吕宏三;吴亭莹;庄字周;叶玉隆 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | C25D7/12 | 分类号： | C25D7/12;C25D5/08;C25D17/00;C25D21/06 |
| 代理公司： | 南京正联知识产权代理有限公司 32243 | 代理人： | 王素琴 |
| 地址： | 中国台湾新竹科*** | 国省代码： | 台湾;71 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 一种镀覆膜包括：支撑结构，从喷嘴沿径向向外延伸，喷嘴用于朝晶片引导镀覆溶液的流。镀覆膜还包括：框架，由支撑结构支撑，具有从喷嘴向外成斜角的内壁。内壁相对于喷嘴的向外角度以如下方式引导来自喷嘴的镀覆溶液的流：增大朝晶片的镀覆溶液的流的均匀性；减少朝镀覆膜的中心向内重新引导的镀覆溶液的量；减少晶片的沟槽(例如，高纵横比沟槽)中的镀覆材料空隙；和/或类似方式。 | ||
| 搜索关键词： | 镀覆 以及 工具 | ||
【主权项】：
暂无信息
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