[发明专利]氙灯光源及光学量测机台在审
| 申请号： | 202010959313.5 | 申请日： | 2020-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN112213261A | 公开（公告）日： | 2021-01-12 |
| 发明（设计）人： | 梅澎;梁亚军 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G01N21/01 | 分类号： | G01N21/01;G01N21/84;G01R31/26 |
| 代理公司： | 北京汉之知识产权代理事务所(普通合伙) 11479 | 代理人： | 高园园 |
| 地址： | 430074 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供一种氙灯光源及光学量测机台，所述氙灯光源包括：氙灯，所述氙灯包括发光管、设置于所述发光管内部两端的阳极和阴极以及位于所述阳极和所述阴极之间的电离中心；灯箱；灯支座，设置于所述灯箱内部，所述氙灯的发光管的两端安装于所述灯支座上；光阑，具有一光阑孔，设置于所述氙灯的一侧；磁场产生装置，设置于所述氙灯的外围，所述磁场产生装置可于所述发光管内部产生垂直于所述氙灯的轴向的垂直磁场分量，通过调整所述磁场产生装置的垂直磁场分量的大小来改变所述氙灯的电离中心的位置，以改变所述氙灯光源的入射角。利用本发明，可以通过磁场来快速精确的调整氙灯光源的电离中心的位置，从而调整光学量测机台中氙灯光源的入射角。 | ||
| 搜索关键词： | 氙灯 光源 光学 机台 | ||
【主权项】：
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