[发明专利]具有集成阻尼结构的惯性传感器在审
| 申请号： | 202010957969.3 | 申请日： | 2020-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN112525181A | 公开（公告）日： | 2021-03-19 |
| 发明（设计）人： | 汤俊 | 申请（专利权）人： | 恩智浦美国有限公司 |
| 主分类号： | G01C19/5712 | 分类号： | G01C19/5712 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 纪雯 |
| 地址： | 美国德*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种惯性传感器包括与基板的表面间隔开的可移动质量块。所述可移动质量块适用于响应于在垂直于所述基板的所述表面的第一方向上施加在所述可移动质量块上的第一力而围绕位于所述可移动质量块的第一与第二端之间的旋转轴运动。所述惯性传感器另外包括阻尼系统，所述阻尼系统被配置成限制所述可移动质量块在垂直于所述第一方向的第二方向上的运动。所述阻尼系统包括联接到所述可移动质量块的第一阻尼结构；邻近所述第一阻尼结构的第二阻尼结构，所述第一和第二阻尼结构与所述基板的所述表面间隔开；以及在所述可移动质量块与所述第二阻尼结构之间互连的弹簧结构。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 集成 阻尼 结构 惯性 传感器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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