[发明专利]一种基于紫外光刻工艺的PEDOT:PSS电极的快速图案化刻蚀方法

摘要

一种基于紫外光刻工艺的PEDOT:PSS电极的快速图案化刻蚀方法，本发明涉及一种基于紫外光刻工艺的PEDOT:PSS电极的快速图案化刻蚀方法。本发明的目的是要解决现有的有机透明电极薄膜的图案化刻蚀工艺复杂、周期长、尺寸小的问题，本发明在清洗后的基底上旋涂光刻胶，烘干后得到光刻胶层；使用紫外光刻机曝光将光刻胶层图案化，烘干后获得带有预设图案光刻胶层的基底；在带有预设图案化光刻胶层的基底上旋涂法沉积PEDOT:PSS薄膜，浸泡在有机溶剂中，超声清洗，氮气吹干即完成。本发明刻蚀图案利用紫外曝光一次成型，整个刻蚀工艺流程周期短，成品快。本发明应用于有机薄膜电极加工刻蚀及应用研究领域。