[发明专利]芯片的空间取向的测量方法、系统、电子装置和存储介质在审
| 申请号： | 202010935215.8 | 申请日： | 2020-09-08 |
| 公开（公告）号： | CN112082480A | 公开（公告）日： | 2020-12-15 |
| 发明（设计）人： | 房亮;朱海斌;何志峰;程北 | 申请（专利权）人： | 浙江清华柔性电子技术研究院 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00 |
| 代理公司： | 杭州华进联浙知识产权代理有限公司 33250 | 代理人： | 龙伟 |
| 地址： | 314006 浙江省嘉兴*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种芯片的空间取向的测量方法、系统、电子装置和存储介质。其中，该方法包括：控制测量头对准承载于载物台上的电路板上的参考位置；以参考位置为位置基准，按照预设测量路径控制测量头与载物台的相对位置，并获取电路板上目标位置区域的图像，其中，目标位置区域至少设置有一个待测芯片；根据目标位置区域的图像，确定待测芯片的空间取向信息。通过本申请，解决了相关技术中在测量芯片的空间取向时需要逐个手动选点测量导致的效率低下的问题，提高了测量芯片的空间取向的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 芯片 空间 取向 测量方法 系统 电子 装置 存储 介质 | ||
【主权项】：
暂无信息
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