[发明专利]一种AlGaN/GaN基35GHz毫米波整流器及其制备方法与应用在审
| 申请号： | 202010929663.7 | 申请日： | 2020-09-07 |
| 公开（公告）号： | CN114156346A | 公开（公告）日： | 2022-03-08 |
| 发明（设计）人： | 王文樑;李国强;杨昱辉;江弘胜;肖一鸣;董文浩 | 申请（专利权）人： | 华南理工大学 |
| 主分类号： | H01L29/872 | 分类号： | H01L29/872;H01L29/20;H01L29/205;H01L21/329;H01L23/367;H01L23/373;H01L21/203 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 殷妹 |
| 地址： | 510640 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种AlGaN/GaN基35GHz毫米波整流器及其制备方法与应用。所述结构自下而上依次为Al衬底、非掺杂Al |
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| 搜索关键词： | 一种 algan gan 35 ghz 毫米波 整流器 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
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