[发明专利]具有微纳结构阵列的复合薄膜的制备方法在审

专利信息
申请号: 202010919184.7 申请日: 2020-09-04
公开(公告)号: CN112010258A 公开(公告)日: 2020-12-01
发明(设计)人: 张雪花;解经纬;王倩;胡芳仁;张伟 申请(专利权)人: 南京邮电大学
主分类号: B81B7/04 分类号: B81B7/04;B81C1/00;H01L51/52
代理公司: 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 代理人: 赵淑芳
地址: 210046 *** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种具有微纳结构阵列的复合薄膜的制备方法,通过改进的溶胶‑凝胶技术制备了有机‑无机复合薄膜材料,通过紫外软压印技术和二次旋涂法制备了微透镜上的微纳结构阵列,本发明将有机无机复合薄膜与微纳结构阵列结构相结合,使用紫外软压印方法得到的微纳结构阵列轮廓清晰,微纳结构阵列基本保持了模板上的形状,排列规则整齐,并没有发生大的改变,整体均匀性良好,表面光滑,没有多余的杂质,单个微透镜形貌良好,无范围性明显的缺陷,将微纳结构阵列与OLED器件相结合后,对于器件的电流效率有了较为明显的提升。
搜索关键词: 具有 结构 阵列 复合 薄膜 制备 方法
【主权项】:
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