[发明专利]III族氮化物基分布式布拉格反射镜及其制备方法在审
| 申请号： | 202010918413.3 | 申请日： | 2020-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN112002788A | 公开（公告）日： | 2020-11-27 |
| 发明（设计）人： | 赵丽霞;李晓东;林杉;李婧;胡天贵 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | H01L33/10 | 分类号： | H01L33/10;H01L33/32;H01L33/00;H01S5/187 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 吴梦圆 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种III族氮化物基分布式布拉格反射镜及其制备方法，该方法包括：在衬底上依次形成缓冲层、多组叠层结构，每组叠层结构分别为由n型掺杂氮化物层和非故意掺杂氮化物层以固定厚度交替生长而形成的多周期性结构，且各组所述叠层结构之间的周期厚度不同；将所得结构表面沉积或生长一层保护层；自保护层沿着朝向衬底的方向刻蚀直至多组叠层结构的侧壁完全暴露；将所得结构作为阳极进行电化学腐蚀，n型掺杂氮化物层被腐蚀成多孔层，第一非故意掺杂氮化物层不会被腐蚀而成为无孔层，然后去除保护层后得到分布式布拉格反射镜(DBR)。本发明可实现III族氮化物基DBR高反射率和宽反射带宽和波长范围的调控，方法简单且易操作。 | ||
| 搜索关键词： | iii 氮化物 分布式 布拉格 反射 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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