[发明专利]一种基于飞秒激光加工物相可调谐光学超表面的方法有效
| 申请号： | 202010906946.X | 申请日： | 2020-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN111992890B | 公开（公告）日： | 2022-09-30 |
| 发明（设计）人： | 姜澜;赵康;韩伟娜 | 申请（专利权）人： | 北京理工大学重庆创新中心;北京理工大学 |
| 主分类号： | B23K26/352 | 分类号： | B23K26/352;B23K26/046 |
| 代理公司： | 重庆智慧之源知识产权代理事务所(普通合伙) 50234 | 代理人： | 高彬 |
| 地址： | 401135 重*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本发明提供一种基于飞秒激光加工物相可调谐光学超表面的方法，通过利用飞秒激光直接在被加工样品表面进行直写加工，在不破坏材料的情况下，通过对脉冲能量的精准控制，调控了被加工样品的多种不同物相，使得其表面产生多种具有不同晶态程度的一致性、均匀性极好的光栅结构，从而形成光学超表面；实现了超表面光栅加工的高效性，克服了FIB切割、电子束掩膜加工等加工方式所具有的加工成本昂贵、加工效率低以及加工周期长等弊端，克服了传统烧蚀加工中，结构均匀性、一致性差的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 激光 加工 物相可 调谐 光学 表面 方法 | ||
【主权项】：
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