[发明专利]一种翻转式的半导体清洗槽有效

专利信息
申请号: 202010904125.2 申请日: 2020-09-01
公开(公告)号: CN112077064B 公开(公告)日: 2021-11-05
发明(设计)人: 魏运秀 申请(专利权)人: 河南泰鑫纳米科技有限公司
主分类号: B08B3/04 分类号: B08B3/04;H01L21/67
代理公司: 合肥市科融知识产权代理事务所(普通合伙) 34126 代理人: 刘冉
地址: 453000 河南省新乡市新*** 国省代码: 河南;41
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摘要: 发明公开了一种翻转式的半导体清洗槽,包括若干个呈一排排列的水槽,相邻的水槽并靠在一起;水槽上端面的中部固定有横向的齿条,齿条上啮合有齿轮,齿轮插套固定在传动轴上,传动轴的两端伸出水槽前、后两侧插接在轴承座,轴承座固定在无杆气缸的滑块上,无杆气缸分布在水槽的前、后两侧并固定在若干L形的支架板上,支架板焊接固定在水槽的前、后侧壁上;所述齿轮两侧的传动轴上设有硅片装载盒。
搜索关键词: 一种 翻转 半导体 清洗
【主权项】:
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