[发明专利]一种翻转式的半导体清洗槽有效
申请号: | 202010904125.2 | 申请日: | 2020-09-01 |
公开(公告)号: | CN112077064B | 公开(公告)日: | 2021-11-05 |
发明(设计)人: | 魏运秀 | 申请(专利权)人: | 河南泰鑫纳米科技有限公司 |
主分类号: | B08B3/04 | 分类号: | B08B3/04;H01L21/67 |
代理公司: | 合肥市科融知识产权代理事务所(普通合伙) 34126 | 代理人: | 刘冉 |
地址: | 453000 河南省新乡市新*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | 本发明公开了一种翻转式的半导体清洗槽,包括若干个呈一排排列的水槽,相邻的水槽并靠在一起;水槽上端面的中部固定有横向的齿条,齿条上啮合有齿轮,齿轮插套固定在传动轴上,传动轴的两端伸出水槽前、后两侧插接在轴承座,轴承座固定在无杆气缸的滑块上,无杆气缸分布在水槽的前、后两侧并固定在若干L形的支架板上,支架板焊接固定在水槽的前、后侧壁上;所述齿轮两侧的传动轴上设有硅片装载盒。 | ||
搜索关键词: | 一种 翻转 半导体 清洗 | ||
【主权项】:
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