[发明专利]一种双程表面等离子共振的光学薄膜气体传感器及其制法

摘要

本发明公开了一种双程表面等离子共振的光学薄膜气体传感器，所述传感器包括高反射镜、Ag膜、TiO2膜、棱镜和反应气室，棱镜包括第一侧面、第二侧面和第三侧面，第一侧面上覆盖高反射镜，第二侧面上覆盖Ag膜，Ag膜的表面覆盖TiO2膜，TiO2膜与反应气室相连，高反射镜能够使得沿第三侧面入射到其表面的光沿原路返回。本发明还公开了一种双程表面等离子共振的光学薄膜气体传感器的制备方法。本发明选择对折射率变化具有良好的折射率响应和高灵敏度的银和二氧化钛为气敏膜，二氧化钛不仅可以保护敏感膜不被氧化，还可以谐调共振波长；传感器的制备工艺简单，易于批量生产，性能好，灵敏度高，模块化，操作简单，使用范围广。