[发明专利]一种石墨舟清洗预处理装置在审
| 申请号： | 202010890544.5 | 申请日： | 2020-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN112058796A | 公开（公告）日： | 2020-12-11 |
| 发明（设计）人： | 邢显邦;李海波;肖文明;杨灼坚 | 申请（专利权）人： | 江苏润阳悦达光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;B08B3/10;B08B3/08;B08B13/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 224000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种石墨舟清洗预处理装置，其特征在于，包括外槽、内槽和清洁单元，所述内槽固定的设置在所述外槽内，所述清洁单元包括超声波震盒、鼓泡管、循环管和匀流板，所述超声波震盒设置在外槽底部，位于内槽与外槽的中间；所述匀流板设置于所述内槽的底部，所述鼓泡管设置于所述匀流板下方，所述循环管的一端贯穿所述超声波震盒插入所述内槽底部，且位于所述鼓泡管下方，所述循环管的另一端与所述外槽相连通，使所述外槽内的清洗液体与所述内槽形成连通。本装置通过在石墨舟清洗前，增加超声处理措施，将石墨舟表面附着的氮化硅先去除掉一部分，从而减少石墨舟清洗过程中氢氟酸的用量和排放，从而达到降低产业氢氟酸消耗和排放的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石墨 清洗 预处理 装置 | ||
【主权项】：
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