[发明专利]一种薄膜电容器的制备方法以及薄膜电容器有效
| 申请号： | 202010871920.6 | 申请日： | 2020-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN112071643B | 公开（公告）日： | 2022-02-18 |
| 发明（设计）人： | 贾婷婷;胡芳;方伟;丁振;于淑会;孙蓉 | 申请（专利权）人： | 中国科学院深圳先进技术研究院 |
| 主分类号： | H01G4/33 | 分类号： | H01G4/33;H01G4/005;H01G13/00;B33Y10/00;B33Y80/00 |
| 代理公司： | 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 | 代理人： | 黎坚怡 |
| 地址： | 518055 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种薄膜电容器的制备方法以及薄膜电容器，其中，该制备方法包括：提供一衬底；在所述衬底上依次形成牺牲层、介电薄膜层、第一电极层和电容器基底层；去除所述衬底和所述牺牲层；在所述介电薄膜层远离所述第一电极层的一侧形成第二电极层，以得到薄膜电容结构；采用3D打印技术对所述薄膜电容进行封装。通过上述方法可以制备得到耐压高、寿命长、温度特性稳定、损耗低的薄膜电容器，可用于各种相关电子设备及大规模集成电路等。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 电容器 制备 方法 以及 | ||
【主权项】：
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