[发明专利]一种具有超高重复频率的IPOP系统构架式高压微秒脉冲电源有效

专利信息
申请号: 202010865986.4 申请日: 2020-08-25
公开(公告)号: CN112072945B 公开(公告)日: 2022-06-14
发明(设计)人: 金珊珊;章春晖;彭月阳;方志 申请(专利权)人: 南京工业大学
主分类号: H02M9/06 分类号: H02M9/06;H03K3/57;H05H1/24
代理公司: 苏州慧通知识产权代理事务所(普通合伙) 32239 代理人: 丁秀华
地址: 211800 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了等离子体放电技术领域的一种具有超高重复频率的IPOP系统构架式高压微秒脉冲电源,包括主功率部分和控制信号部分,所述主功率部分由AC‑DC整流模块可调输出单元、N路微秒脉冲电源功率模块以及等离子体放电负载单元构成,所述控制信号部分由初始PWM信号发生单元、(N‑1)路移相交错控制单元以及以及N路微秒脉冲电源模块的PWM信号输入接口组成,用的多模块式IPOP的分布式架构,在满足相同功率等级条件下,整机体积减小,功率密度增加,效率高且低成本。
搜索关键词: 一种 具有 超高 重复 频率 ipop 系统 构架 高压 微秒 脉冲 电源
【主权项】:
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