[发明专利]离子源驱动电源的滤波电路及其滤波参数检测方法和装置在审
| 申请号： | 202010865511.5 | 申请日： | 2020-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN112152582A | 公开（公告）日： | 2020-12-29 |
| 发明（设计）人： | 曾文华;刘伟基;冀鸣;刘运鸿;易洪波;赵刚 | 申请（专利权）人： | 中山市博顿光电科技有限公司;佛山市博顿光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H03H7/01 | 分类号： | H03H7/01;G01R27/28;G01R27/26 |
| 代理公司： | 北京市立方律师事务所 11330 | 代理人： | 刘延喜 |
| 地址： | 528400 广东省中山市火*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种离子源驱动电源的滤波电路及其滤波参数检测方法和装置，所述离子源驱动电源的滤波电路为LC滤波电路，串联在离子源驱动电源与离子源负载之间，包括串联的电感和并联的滤波电容；所述滤波电路用于对所述离子源驱动电源输出的实时电流波形的高频振荡进行抑制，滤除所述实时电流波形中的高频振荡干扰信号。本申请提供的上述技术方案，通过采用高频滤波元件的LC滤波电路，串联电感器和并联滤波电容，在离子源驱动电源输出电源时，滤波电路可以保证离子源驱动电源输出平滑的直流电压，滤除离子源负载中不稳定导致的高频干扰，避免损坏电源。 | ||
| 搜索关键词： | 离子源 驱动 电源 滤波 电路 及其 参数 检测 方法 装置 | ||
【主权项】：
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