[发明专利]一种利用复合探头的可携带式空间电荷测量装置和方法

摘要

本发明涉及一种利用复合探头的可携带式空间电荷测量装置和方法，用于测量平板样品内部的空间电荷分布，本发明可携带式空间电荷测量装置包括高速方波脉冲电源、低压端取信号复合探头、放大器、示波器等部分；在不外加电压的情况下，本发明测量装置即可独立完成空间电荷分布测量；若需要外加电压，也可利用任何现有的直流电压系统，可以与空间电荷测量无关。与现有技术相比，本发明突破了现有技术测量系统复杂的弊端，在具有相空间分辨率和测量灵敏度的条件下大幅提升了操作安全性与简便性，同时也克服了传统压力波法测量装置体积庞大、不可移动的局限，测量装置操作简单，便于携带。