[发明专利]基于激光等离子体成像的低气压测量方法及装置有效
| 申请号： | 202010857373.6 | 申请日： | 2020-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN112082691B | 公开（公告）日： | 2022-10-28 |
| 发明（设计）人： | 袁欢;柯伟;杨爱军;刘定新;王小华;荣命哲 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G01L11/02 | 分类号： | G01L11/02 |
| 代理公司： | 北京前审知识产权代理有限公司 11760 | 代理人： | 张静;张波涛 |
| 地址： | 710049 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于激光等离子体成像的低气压测量方法及装置，方法中，待测真空腔内设置靶材，脉冲激光透过待测真空腔的窗口烧蚀靶材产生等离子体，在垂直于脉冲激光入射方向上，于脉冲激光发射后的预定时刻后拍摄等离子体图像，基于等离子体图像强度积分生成强度积分值，比较所述强度积分值和预定气压下等离子体图像强度的第一强度积分值，所述强度积分值大于所述第一强度积分值，则基于所述等离子体质心到靶材表面距离获得待测真空腔的气压值，所述强度积分值小于所述第一强度积分值，当等离子体图像出现眼泪形图形，则基于羽翼长度获得待测真空腔的气压值，当等离子体图像没有出现眼泪形图形，则基于强度积分值获取待测真空腔的气压值。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 激光 等离子体 成像 气压 测量方法 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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