[发明专利]人工智能辨识的半导体影像量测方法在审
| 申请号： | 202010855090.8 | 申请日： | 2020-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN113759148A | 公开（公告）日： | 2021-12-07 |
| 发明（设计）人： | 柳纪纶;陈荣钦;黄邦浩;陈朝炜 | 申请（专利权）人： | 汎铨科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01Q60/24 | 分类号： | G01Q60/24;G01N23/2255;G01N23/2251;G01C11/00 |
| 代理公司： | 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435 | 代理人： | 胡少青;许媛媛 |
| 地址： | 中国台湾新*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种人工智能辨识的半导体影像量测方法，其包括以下步骤：提供半导体的原始影像；利用人工智能判断前述原始影像所属的类型和/或种类；导入前述原始影像所属的类型和/或种类所预定的尺寸量测模式，并依照前述预定的尺寸量测模式，扫描前述原始影像，以获得前述原始影像的测量信号；以及将所获得的特定位置的测量信号输出，并经由计算以获得前述半导体中特定的物理参数。 | ||
| 搜索关键词： | 人工智能 辨识 半导体 影像 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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