[发明专利]氧化镍复合薄膜及其制备方法和LED有效
| 申请号: | 202010844701.9 | 申请日: | 2020-08-20 |
| 公开(公告)号: | CN111864099B | 公开(公告)日: | 2022-07-19 |
| 发明(设计)人: | 赵维巍;王浩然 | 申请(专利权)人: | 哈尔滨工业大学(深圳);深圳石墨烯创新中心有限公司 |
| 主分类号: | H01L51/50 | 分类号: | H01L51/50;H01L51/54;B05D3/14;B05D1/00 |
| 代理公司: | 深圳中一联合知识产权代理有限公司 44414 | 代理人: | 方良 |
| 地址: | 518000 广东省深圳市南*** | 国省代码: | 广东;44 |
| 权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
| 摘要: | 本发明属于空穴传输材料技术领域,具体涉及一种氧化镍复合薄膜及其制备方法和LED。该氧化镍复合薄膜的制备方法包括如下步骤:提供初始氧化镍薄膜;在所述初始氧化镍薄膜表面沉积烷基硫酸盐,然后进行氧等离子体处理,得到所述氧化镍复合薄膜。该制备方法能够显著提高氧化镍复合薄膜的功函数,并可提高功函数的稳定性,因此具有很好的空穴传输性能,在发光器件中具有很好的应用前景。 | ||
| 搜索关键词: | 氧化 复合 薄膜 及其 制备 方法 led | ||
【主权项】:
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