[发明专利]含金属结构和处理含金属材料以增加晶粒尺寸和/或降低污染物浓度的方法

摘要

本申请涉及含金属结构，以及处理含金属材料以增加晶粒尺寸和/或降低污染物浓度的方法。一些实施例包括形成导电结构的方法。在支撑衬底上形成含金属导电材料。含金属导电材料的表面暴露于至少一种自由基形式的氢和至少一种氧化剂。所述暴露改变含金属导电材料的至少一部分，从而形成导电结构的至少一部分。一些实施例包括具有含金属导电材料的导电结构，所述导电材料具有与第二区域相邻的第一区域。所述第一区域相对于所述第二区域具有更高浓度的氟和硼中的一种或两种。