[发明专利]一种具有双灯丝的离子源结构及其控制方法在审
| 申请号： | 202010833434.5 | 申请日： | 2020-08-18 |
| 公开（公告）号： | CN111933507A | 公开（公告）日： | 2020-11-13 |
| 发明（设计）人： | 张力夫 | 申请（专利权）人： | 泉芯集成电路制造（济南）有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01J27/02;H01J27/26;H01J37/08 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 李晓光 |
| 地址： | 250101 山东省济南市*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种具有双灯丝的离子源结构及其控制方法，所述离子源结构包括：解离腔室、第一容纳腔、第二容纳腔、第一灯丝、第二灯丝；所述第一容纳腔和所述第二容纳腔设置在所述解离腔室的两侧；所述第一灯丝位于所述第一容纳腔内，所述第二灯丝位于所述第二容纳腔内；在具有双灯丝的情况下，通过改变外部接线方式，可以使其中一个灯丝处于燃烧状态时，另一个灯丝处于不燃烧状态，也就是说，当其中一个灯丝断裂时，可使另一个灯丝处于燃烧状态，进而可以延长离子源结构的更换周期，提升离子源结构的使用性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 灯丝 离子源 结构 及其 控制 方法 | ||
【主权项】：
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