[发明专利]一种石墨烯/铜复合互连结构及其制造方法有效
| 申请号： | 202010825082.9 | 申请日： | 2020-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN112151503B | 公开（公告）日： | 2022-10-25 |
| 发明（设计）人： | 朱宝;陈琳;孙清清;张卫 | 申请（专利权）人： | 复旦大学;上海集成电路制造创新中心有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/528 | 分类号： | H01L23/528;H01L23/532;H01L23/367;H01L23/373;H01L21/768 |
| 代理公司： | 北京得信知识产权代理有限公司 11511 | 代理人： | 孟海娟 |
| 地址： | 200433 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开一种石墨烯/铜复合互连结构及其制造方法。该石墨烯/铜复合互连结构包括：底部沟槽，形成在绝缘介质(200)内，内部填充底层铜互连线(201)；通孔，贯穿第一刻蚀终止层(202)和第一绝缘介质层(203)所构成的第一介质叠层，通孔内填充有石墨烯(204)；顶部沟槽，贯穿第二刻蚀终止层(205)和第二绝缘介质层(206)所构成的第二介质叠层，内部填充有顶层铜互连线；介质覆盖层(210)，覆盖上述结构的上表面，其中，所述石墨烯(204)的上下表面分别与顶层铜互连线和底层铜互连线(201)相接触。本发明通过石墨烯连通各层金属连线，能够有效降低电阻率，提高散热性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石墨 复合 互连 结构 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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