[发明专利]一种单晶炉提拉头校准装置及校准方法有效
| 申请号： | 202010818393.2 | 申请日： | 2020-08-14 |
| 公开（公告）号： | CN111893562B | 公开（公告）日： | 2023-06-09 |
| 发明（设计）人： | 李仕权;周宏邦;娄中士;王淼;张强;侯明超;张庆虎;郝朝旭;孔凯斌;王立刚;郝小龙 | 申请（专利权）人： | 内蒙古中环领先半导体材料有限公司;中环领先半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/20 | 分类号： | C30B15/20;C30B15/30;G01M1/12 |
| 代理公司： | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人： | 栾志超 |
| 地址： | 010070 内蒙古自*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | 本发明提供一种单晶炉提拉头校准装置，包括：与重锤连接的固定部；校准部；以及用于连接所述固定部和所述校准部的连接部；所述固定部、所述连接部和所述校准部同轴心设置；所述校准部为锥形体结构且其小径端靠近所述连接部一侧设置；所述校准部大径端为平整平面。本发明还提出一种采用该校准装置的单晶炉提拉头校准方法。本发明设计的校准装置及校准方法，可精准地对提拉头重心水平位置进行校准，保证其对中不发生偏移，校准效果好且校准效率高，无需过多其它装置配合即可完成提拉头的校准工作，结构简单且易于加工。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶炉提拉头 校准 装置 方法 | ||
【主权项】：
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