[发明专利]一种提升光刻速度的方法、装置、存储介质及终端设备有效
| 申请号： | 202010790774.4 | 申请日： | 2020-08-07 |
| 公开（公告）号： | CN111999985B | 公开（公告）日： | 2023-01-31 |
| 发明（设计）人： | 郝明毅;朱春辉 | 申请（专利权）人： | 深圳清溢光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京科家知识产权代理事务所(普通合伙) 11427 | 代理人： | 宫建华 |
| 地址： | 518000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明实施例涉及光刻技术领域，公开了一种提升光刻速度的方法，该方法通过实时检测当前扫描宽度是否小于预设扫描宽度；若当前扫描宽度小于预设扫描宽度，读取经图形转换单元转换的数据，像素生成器解压所述数据，并删除解压后的数据两端冗余像素数据，获得有效像素数据；根据读取的所述有效像素数据，控制栅式光阀的微结构；根据设定参数和所述有效像素数据，将图形刻制在工件上，所述预定参数包括激光器脉冲频率、激光器的输出能量及运动平台的运动速度，本发明，当扫描宽度减小时，栅式光阀每一帧都只装载有效像素数据，从而提升单位时间内装载的帧数，提升栅式光阀的刷新率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 提升 光刻 速度 方法 装置 存储 介质 终端设备 | ||
【主权项】：
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