[发明专利]一种基于多孔节流与MEMS压力传感器的流量测量方法有效
申请号: | 202010789129.0 | 申请日: | 2020-08-07 |
公开(公告)号: | CN112212926B | 公开(公告)日: | 2022-04-08 |
发明(设计)人: | 张威;黄越;赵晓东;陈广忠 | 申请(专利权)人: | 北京协同创新研究院 |
主分类号: | G01F1/38 | 分类号: | G01F1/38;B81B7/02 |
代理公司: | 北京卫平智业专利代理事务所(普通合伙) 11392 | 代理人: | 张新利;谢建玲 |
地址: | 100089 北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种基于多孔节流与MEMS压力传感器的流量测量方法,涉及流量计技术领域。所述流量测量方法基于流量测量装置,流量测量装置包括多孔平衡流量计、导压管、MEMS压力传感器、信号采集单元和信号处理单元;所述多孔平衡流量计包括前直管段、后直管段和多孔节流板,通过法兰盘和螺栓将三者连接起来;多孔节流板上开设螺栓孔、函数孔和导压孔,多孔节流板的一侧面布置MEMS压力传感器和信号采集单元,另一侧面布置导压管。被测介质从前直管段流入,经多孔节流板流至后直管段,MEMS压力传感器检测前直管段与后直管段的压力差,信号采集单元采集压力差信号,并传递给信号处理单元,信号处理单元将压力差信号转化成流量信号。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 多孔 节流 mems 压力传感器 流量 测量方法 | ||
【主权项】:
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