[发明专利]一种薄膜压力传感器及其制备方法有效
| 申请号： | 202010781708.0 | 申请日： | 2020-08-06 |
| 公开（公告）号： | CN111735562B | 公开（公告）日： | 2021-01-15 |
| 发明（设计）人： | 汪晓阳;严颖涛;熊玉章 | 申请（专利权）人： | 钛深科技（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/84 | 分类号： | H01L29/84;G01L1/20;G01L9/02 |
| 代理公司： | 深圳中一联合知识产权代理有限公司 44414 | 代理人： | 李艳丽 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙岗区吉华*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请属于传感器技术领域，提供了一种薄膜压力传感器及其制备方法，薄膜压力传感器包括功能薄膜和电极组，电极组与功能薄膜接触，功能薄膜为功能复合材料层，功能复合材料层包括导电性填料和树脂基体，导电性填料填充于树脂基体中，或者功能薄膜为多层结构，多层结构包括基底、设于基底上的高导电性层以及形成于高导电性层上的高电阻材料层，高电阻材料层包括导电性填料和树脂基体，导电性填料填充于树脂基体中，功能薄膜的表面设有依序排列的凸起结构，通过采用具有高硬度、高耐磨特点的基体树脂构成导电性的功能薄膜，解决了目前电阻传感器存在的线性度和量程低、一致性低等问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 压力传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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