[发明专利]镀膜方法、光伏电池以及镀膜设备在审
| 申请号： | 202010776518.X | 申请日： | 2020-08-05 |
| 公开（公告）号： | CN114059041A | 公开（公告）日： | 2022-02-18 |
| 发明（设计）人： | 罗伟斌;张勇;李锐;肖岳南 | 申请（专利权）人： | 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/40 | 分类号： | C23C16/40;C23C16/44;H01L31/042;H01L31/0216 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 林明校 |
| 地址： | 518118 广东省深圳市坪山*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了镀膜方法、光伏电池以及镀膜设备，其中，该镀膜方法，用于光伏电池的基底的镀膜，包括：第一工序，在管式LPCVD装置的反应室内，至少通入锌源以及第一氧源，并使其发生反应，在所述基底的表面的至少一面，沉积并生成氧化锌膜。根据本发明实施例的镀膜方法，不仅能够实现在光伏电池的基底上制备出氧化锌膜，而且设备成本适中，镀膜工艺简单，可大规模量产。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜 方法 电池 以及 设备 | ||
【主权项】：
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
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C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
