[发明专利]一种砷化镓基LED管芯的制作方法在审
| 申请号： | 202010747671.X | 申请日： | 2020-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN114068767A | 公开（公告）日： | 2022-02-18 |
| 发明（设计）人： | 徐晓强;程昌辉;吴向龙;闫宝华;王成新 | 申请（专利权）人： | 山东浪潮华光光电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00;H01L21/683;H01L21/304;H01L21/67;H01L33/36 |
| 代理公司： | 济南金迪知识产权代理有限公司 37219 | 代理人： | 王素平 |
| 地址： | 261061 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种砷化镓基LED管芯的制作方法。该方法包括采用电流扩展层—P面电极—减薄—N面电极—切割的制作流程，其中在N面电极制作前将完成P面制作的晶片正面贴附上热解膜，N面电极完成后将热解膜去除，然后进行快速切割。本发明既避免使用切割保护液，又在切割时不会对芯片电极产生破坏，降低整体作业成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 砷化镓基 led 管芯 制作方法 | ||
【主权项】：
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