[发明专利]检测方法以及检测装置、电子设备和存储介质在审
| 申请号： | 202010727714.8 | 申请日： | 2020-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN113971651A | 公开（公告）日： | 2022-01-25 |
| 发明（设计）人： | 孟阳;王伟斌 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司;中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | G06T7/00 | 分类号： | G06T7/00;G06N3/04;G06N3/08 |
| 代理公司： | 上海知锦知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31327 | 代理人： | 高静 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供一种检测方法以及检测装置、电子设备和存储介质，所述检测方法包括：提供版图图形和扫描图形；将所述版图图形与所述扫描图形重合并进行对比，提取样本非重叠图案；对所述样本非重叠图案进行编码，形成样本编码数据；将所述样本编码数据作为所述机器学习的输入数据，获得检测模型库；利用所述检测模型库检测待测器件的缺陷点。本发明是实力可以提高缺陷点分析的准确率，从而加快工艺技术发展和提高生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 方法 以及 装置 电子设备 存储 介质 | ||
【主权项】：
暂无信息
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