[发明专利]一种跨尺度微纳结构三维测量装置及测量方法有效
| 申请号： | 202010718315.5 | 申请日： | 2020-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN111854638B | 公开（公告）日： | 2021-06-04 |
| 发明（设计）人： | 卢文龙;刘晓军 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G01B11/02;G01B9/02 |
| 代理公司： | 武汉东喻专利代理事务所(普通合伙) 42224 | 代理人： | 宋敏 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种跨尺度微纳结构三维测量装置及测量方法，其特征在于：包括原子力探针扫描显微镜组件、物镜转台、白光干涉系统、纳米级垂直微位移平台、激光干涉位移计量系统一、测控系统、激光干涉位移计量系统二、样件、二维压电陶瓷扫描平台、二维电动扫描平台以及激光干涉位移计量系统三；通过转动物镜转台，使测量装置在白光干涉测量模式和原子力探针扫描测量模式中切换。白光干涉测量模式主要用于微米尺度结构的大范围测量，原子力探针扫描测量模式对纳米尺度特征区域进行水平高分辨力测量，实现跨尺度微纳结构表面大范围与高分辨力测量，能够在一套系统中实现跨尺度(微米尺度、亚微米及以下尺度)结构的测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 尺度 结构 三维 测量 装置 测量方法 | ||
【主权项】：
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