[发明专利]一种扇形交替式硅像素探测器在审

专利信息
申请号: 202010718275.4 申请日: 2020-07-23
公开(公告)号: CN111863846A 公开(公告)日: 2020-10-30
发明(设计)人: 李正;熊波 申请(专利权)人: 湖南正芯微电子探测器有限公司
主分类号: H01L27/146 分类号: H01L27/146;H01L27/148
代理公司: 长沙新裕知识产权代理有限公司 43210 代理人: 刘加
地址: 411100 湖南省*** 国省代码: 湖南;43
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摘要: 发明公开了一种扇形交替式硅像素探测器,包括n型硅基底,n型硅基底为圆柱体结构,其下表面设置有N+入射面,其上表面设置有P+收集面;P+收集面由p+型中心像素单元和等间隔设置在p+型中心像素单元径向上的多个间隔相等的扇形区域组成,p+型中心像素单元位于P+收集面的中心位置,每个扇形区域由多个从内向外交替设置的p+型像素单元A和p+型像素单元B组成,所有扇形区域的同一位置处的p+型像素单元A和p+型像素单元B等间隔交替设置形成一个p+型像素环,共形成多个同心的p+型像素环,且p+型像素环的数量与每个扇形区域包含的p+型像素单元A和p+型像素单元B的总数相等,制备工艺简单、成品率高、成本低。
搜索关键词: 一种 扇形 交替 像素 探测器
【主权项】:
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