[发明专利]一种选择性发射极激光制造装置有效
| 申请号： | 202010713269.X | 申请日： | 2020-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN111843185B | 公开（公告）日： | 2022-03-11 |
| 发明（设计）人： | 凌步军;朱鹏程;袁明峰;吕金鹏;赵有伟;滕宇;孙月飞;冷志斌;冯高俊 | 申请（专利权）人： | 江苏亚威艾欧斯激光科技有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/00 | 分类号： | B23K26/00;B23K26/70;H01L31/18 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 苗晓娟 |
| 地址： | 225600 江苏省苏州市中国（江苏）自由贸易试验区苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种选择性发射极激光制造装置，包括：激光发射部、光转换部、偏光镜、光束扩大部、控制器。激光发射部发射激光束；光转换部将激光束转换成相应的偏光；偏光镜允许未经偏光的激光束和经过偏光的激光束中的一种透射通过；光束扩大部将经由偏光镜透射的激光束扩大至设定倍数；熔融激光发出器接受扩大后的激光束并发射出熔融激光束至基板上设定位置；控制器与光转换部电性连接；其中控制器控制光转换部开启或关闭，以使熔融激光束在到达预设选择性发射极以外区域时关闭，在到达预设选择性发射极区域时开启。本发明选择性发射极激光制造装置，不需要掩膜即可形成选择性发射极，可以改善生产收率，显著节省装置的维持费用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 选择性 发射极 激光 制造 装置 | ||
【主权项】：
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