[发明专利]一种多晶硅片制绒质量检测方法在审
| 申请号： | 202010709149.2 | 申请日： | 2020-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN111735824A | 公开（公告）日： | 2020-10-02 |
| 发明（设计）人： | 张永锐;杨晓彤;尹慧 | 申请（专利权）人： | 张永锐 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;C30B33/10;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京棘龙知识产权代理有限公司 11740 | 代理人： | 戴丽伟 |
| 地址： | 236600 安徽省阜阳*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种多晶硅片制绒质量检测方法，属于硅片加工技术领域，本方案通过将整个还原式贴盘按压在多晶硅片的表面，促使还原性铁粉将弹性封闭膜刺穿，并使其端部进入半球形凸层内，一方面可以实现对多晶硅片的干燥，另一方面借助吸收的水分与还原性铁粉反应，可以提高弹性接触方框内的热量，进一步提高水与还原性铁粉的反应速率，并借助反应后生成的四氧化三铁，可以对上观察空腔内的不锈钢粉末进行吸引，从而借助不锈钢粉末在观察薄片内的分布状况，另外借助反应产生的氢气的流动，可以增加弹性接触方框内的气体流动性，可以在降低弹性接触方框内氧气含量的同时，也能进一步提高水与还原性铁粉的反应效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 硅片 质量 检测 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于张永锐，未经张永锐许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010709149.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
