[发明专利]一种红外热电堆传感装置在审
| 申请号： | 202010706869.3 | 申请日： | 2020-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN111795750A | 公开（公告）日： | 2020-10-20 |
| 发明（设计）人： | 刘尧;凌方舟;蒋乐跃;储莉玲 | 申请（专利权）人： | 美新半导体（无锡）有限公司 |
| 主分类号： | G01J5/12 | 分类号： | G01J5/12;G01J5/16;G01J5/10;G01J5/00 |
| 代理公司： | 苏州简理知识产权代理有限公司 32371 | 代理人： | 朱亦倩 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种红外热电堆传感装置，其包括基于基底层形成的热电堆传感器，所述热电堆传感器包括吸收区，所述基底层上形成有空腔，所述吸收区悬置于所述基底层的空腔之上，所述吸收区包括层叠的第一金属层、介质层和第二金属层，所述第一金属层相较于第二金属层更靠近所述基底层的空腔，所述吸收区的介质层位于第一金属层和第二金属层之间，所述吸收区的第二金属层被图形化以形成预定图形。这样，通过将金属层制作成预定图形来增强红外吸收率，调整特定波长吸收率，从而提高红外热电堆传感装置的性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 红外 热电 传感 装置 | ||
【主权项】：
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