[发明专利]氧化镓在压电材料上的应用及压电薄膜、压电器件

摘要

本发明公开了氧化镓在压电材料上的应用及压电薄膜、压电器件，涉及压电材料技术。针对现有技术在压电材料选择中对压电系数的技术偏见提出本方案，ε相氧化镓在压电材料上的应用。压电薄膜由ε相氧化镓制成。应用ε相氧化镓的压电器件。优点在于，相对介电常数仅有εr＝3.6，可以保证外部输入的交流电信号高效的转化为机械振动能，这就弥补了ε相氧化镓在压电系数方面的不足。而且由于ε相氧化镓具有超宽禁带，绝缘性好，可以避免了压电器件工作过程中由于漏电流导致的热损耗，提升压电器件的能量转换效率。ε相氧化镓是一种适用于制备高性能压电器件的新型半导体材料。