[发明专利]一种与基底表面具有高粘附力的直立Au纳米锥的制备方法

摘要

本发明涉及一种与基底表面具有高粘附力的直立Au纳米锥的制备方法，在硅片表面腐蚀出大量纳米尺度的腐蚀孔；将Au蒸镀于硅片表面，进一步通过退火在刻蚀孔内Au‑Si界面处形成大规模的Au‑Si二元合金焊接点作为纳米尺寸的夹持端；通过机械分离，在Au箔与Si表面制备Au纳米锥。该结构显著的提升了Au纳米锥与基底的结合力，为提高SERS探测器、以及太阳能电池的器件稳定性以及使用寿命提供新的技术手段。本发明的设计与制备工艺无特殊条件要求、操作容易、设备要求简单，特别适合商业化大规模生产。