[发明专利]一种磁悬浮抛光装置及其操作方法

摘要

本发明涉及一种磁悬浮抛光装置及其操作方法，主要包括电磁发生装置、抛光头、抛光片、第一永磁体、第二永磁体、第三永磁体、位置传感器，电磁发生装置与第一永磁体之间通过磁力作用实现抛光头的高速旋转运动，第二永磁体和第三永磁体用于抵消抛光头所受的轴向力，通过位置传感器感知抛光头在抛光过程中的浮动大小，实现恒力抛光。本发明基于磁悬浮原理，将其应用到抛光领域，利用悬浮作用自动调节力的大小，增加了对复杂面型的适应性，能够对不同面型实现恒力高转速抛光，避免了抛光过程中震动对抛光装置的破坏，既提高了抛光装置的寿命，又确保了抛光过程的平稳性。