[发明专利]基于光偏转原理的光纤耦合式表面扰动探测系统有效
| 申请号： | 202010678241.7 | 申请日： | 2020-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN111829958B | 公开（公告）日： | 2023-05-05 |
| 发明（设计）人： | 倪辰荫;刘念 | 申请（专利权）人： | 南京理工大学 |
| 主分类号： | G01N21/17 | 分类号： | G01N21/17 |
| 代理公司： | 南京理工大学专利中心 32203 | 代理人： | 朱炳斐 |
| 地址： | 210094 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于光偏转原理的光纤耦合式表面扰动探测系统，包括：探测光产生模块，用于在样品表面产生探测光；表面扰动激发模块，用于激发样品表面产生表面扰动；扰动探测模块，用于探测扰动信息；扫描模块，用于实现样品表面的扫描扰动及探测。连续光纤激光器发出的探测光，经环形器传输到探测头，再聚焦到样品表面。当样品表面由于外部作用产生形变时，从样品表面反射的探测光发生偏转，耦合进探测头的光强减小，从而实现表面扰动探测。本发明利用光纤组成探测系统，降低了环境噪声的影响，且结构更简单，方便移动；在光纤耦合处实现探测光偏转情况的检测，相较自由空间光偏转技术，可以探测各种方向的偏转。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 偏转 原理 光纤 耦合 表面 扰动 探测 系统 | ||
【主权项】：
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