[发明专利]基于压电悬臂梁高频颤振的微尺度力传感器及其测量方法有效
| 申请号： | 202010655228.X | 申请日： | 2020-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN111896150B | 公开（公告）日： | 2021-12-17 |
| 发明（设计）人： | 陈为林;何宝枝;卢清华;张立平 | 申请（专利权）人： | 佛山科学技术学院 |
| 主分类号： | G06F17/10 | 分类号： | G06F17/10 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 顾思妍;梁莹 |
| 地址： | 528200 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种基于压电悬臂梁高频颤振的微尺度力传感器，包括压电传感层、结构层、压电驱动层和基座；所述压电传感层、结构层和压电驱动层均为矩形梁结构，并依次相互粘合形成压电悬臂梁；压电悬臂梁的端部与基座连接；所述压电传感层与压电驱动层的极化方向相反；所述结构层接地。本发明还提供一种基于压电悬臂梁高频颤振的微尺度力传感器的测量方法。本发明可抑制电荷泄露对静态微尺度力检测精度的影响，实现分辨率高、响应速度快的鲁棒微尺度力检测，适合应用于精密定位、微纳操作等领域的力感知。同时，传感器的高频颤振可有效降低微尺度物体与末端执行器间黏滞力对微纳操作的干扰，提高微纳操作的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 压电 悬臂梁 高频 尺度 传感器 及其 测量方法 | ||
【主权项】：
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