[发明专利]金属化填充玻璃转接板通孔的方法在审

专利信息
申请号: 202010654068.7 申请日: 2020-07-09
公开(公告)号: CN111575684A 公开(公告)日: 2020-08-25
发明(设计)人: 陈雨哲;张继华;陈宏伟;高莉彬;方针;曲胜;邹思月;王文君;蔡星周;穆俊宏 申请(专利权)人: 电子科技大学;成都迈科科技有限公司
主分类号: C23C18/40 分类号: C23C18/40;C23C18/18;C25D3/38;C25D5/18;C25D5/54;C25D7/04
代理公司: 成都方圆聿联专利代理事务所(普通合伙) 51241 代理人: 李鹏
地址: 611731 四川省成*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 发明提供了一种金属化填充玻璃转接板通孔的方法,包括以下步骤:将转接板放入浓度在的除油液中,温度控制在80℃以上,并施加超声波场,持续5‑10min后,将转接板放入去离子水中,并施加超声波场,持续5‑10min;将转接板取出并放入浓度为3.5‑4.5ml/L硅烷偶联剂溶液中,静置30min以上;利用转盘实现转接板均匀覆盖;将转接板加热至110℃维持30‑55min;将转接板放入钯胶体溶液,静置5min;将转接板放入硝酸银溶液,静置5min;在高转速环境下化学镀;特定电流和化学镀液下电镀。通过对玻璃转接板进行表面处理、活化处理后,在玻璃转接板表面吸附自催化核,为化学镀提供基本条件,从而顺利完成化学镀。与现有技术相比,本发明的成本大幅度降低,且保证了通孔内壁的金属种子层的质量。
搜索关键词: 金属化 填充 玻璃 转接 板通孔 方法
【主权项】:
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