[发明专利]一种声表面波传感器和设备在审
| 申请号： | 202010652892.9 | 申请日： | 2020-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN111751444A | 公开（公告）日： | 2020-10-09 |
| 发明（设计）人： | 王文;梁勇;贾雅娜 | 申请（专利权）人： | 中国科学院声学研究所 |
| 主分类号： | G01N29/02 | 分类号： | G01N29/02;G01N29/24 |
| 代理公司： | 北京亿腾知识产权代理事务所(普通合伙) 11309 | 代理人： | 陈霁 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： |
本申请提供了一种声表面波传感器和设备，涉及气体传感技术领域。其中所述声表面波传感器包括：压电晶体，输入叉指换能器和输出叉指换能器并列设置在压电晶体的第一表面上；SiO |
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| 搜索关键词： | 一种 表面波 传感器 设备 | ||
【主权项】：
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