[发明专利]应用于扩散炉的拉取装置及拉取控制方法在审
| 申请号： | 202010644256.1 | 申请日： | 2020-07-07 |
| 公开（公告）号： | CN111649598A | 公开（公告）日： | 2020-09-11 |
| 发明（设计）人： | 燕超;徐嘉 | 申请（专利权）人： | 吉林华微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | F27D99/00 | 分类号： | F27D99/00;F27D19/00;H01L21/22 |
| 代理公司： | 成都极刻智慧知识产权代理事务所(普通合伙) 51310 | 代理人： | 唐维虎 |
| 地址： | 132000 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明实施例涉及一种应用于扩散炉的拉取装置及拉取控制方法。该拉取装置包括互相之间存在连接关系的底座、承载件、定位件、抓取件、第一电机以及第二电机。其中，底座和承载件活动连接，能够实现拉取装置的高度调节，使得抓取件与石英套管的高度一致，这样能够通过抓取件对石英套管进行水平拉取，避免拉取角度倾斜导致石英套管破损。通过控制第二电机运转，能够使得抓取件对石英套管进行稳固抓取。通过控制第一电机运转，能够带动第一转动轮转动和传送带运动，使得传送带通过定位件的结合部带动定位件沿着设置在承载件的第一承载部和第二承载部之间的导向杆运动，从而实现对石英套管的平稳、等距离拉取。 | ||
| 搜索关键词： | 应用于 扩散 装置 控制 方法 | ||
【主权项】：
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