[发明专利]一种基于石墨烯薄膜的回音壁微球分子气体传感器

摘要

本发明属于传感领域，具体涉及一种基于石墨烯薄膜的回音壁微球分子气体传感器。本发明通过微球腔内双梳的拍频信号进行传感，减少了建立干涉仪所需的参考光路，从而大大简化了传感器的尺寸；所采用的微球腔拥有极高的品质因子，因此其模式线宽窄，这极大的提高了传感器灵敏度，响应时间仅为电化学气体传感器的千分之一，灵敏度可达传统光学气体传感器的10000倍以上，达到了单分子量级；同时微纳光纤两端采用普通单模光纤的接头，能很方便的接入现有的光纤通信网络。为以后小型化、集成化的全光传感平台提供了基础。