[发明专利]一种三维微区电化学沉积控制方法及其适配系统有效
| 申请号： | 202010638113.X | 申请日： | 2020-07-02 |
| 公开（公告）号： | CN111719178B | 公开（公告）日： | 2021-10-01 |
| 发明（设计）人： | 陶鑫;马黎磊 | 申请（专利权）人： | 橙河微系统科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | C25D21/12 | 分类号： | C25D21/12;C25D5/02;C25D5/04 |
| 代理公司： | 北京中济纬天专利代理有限公司 11429 | 代理人： | 季永康 |
| 地址： | 200433 上海市杨浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： |
本发明提供的该三维微区电化学沉积控制方法及其适配系统，其中方法步骤包括：在电解液和样品表面之间施加直流偏压和交流方波信号后；检测微管尖端与样品表面接触前回路中的交流电流信号，以计算正负电荷量Q＝∫idt，其中i为第一交流电流值，t为检测周期，并进阶计算电容值 |
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| 搜索关键词： | 一种 三维 电化学 沉积 控制 方法 及其 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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