[发明专利]压电振动片、压电振动器、以及它们的制造方法在审
申请号: | 202010630766.3 | 申请日: | 2020-07-03 |
公开(公告)号: | CN112187207A | 公开(公告)日: | 2021-01-05 |
发明(设计)人: | 市村直也;涩谷元规 | 申请(专利权)人: | 精工电子水晶科技股份有限公司 |
主分类号: | H03H3/02 | 分类号: | H03H3/02;H03H3/04;H03H9/215 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 刘林华;陈浩然 |
地址: | 日本千叶*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明抑制由振动(振幅)的追随性引起的振动变得不稳定的情形。压电振动片不是将在振动臂部(7)的前端部设置的配重膜(75)的既定区域整体(总厚度量)熔融除去,而是通过非热加工来除去。在通过非热加工除去配重膜(75)的情况下,以沿着长度方向逐渐变薄的方式形成,从而形成倾斜部(B)。倾斜部(B)的与第一厚度部分(C)相反侧的端部与通过非热加工被除去为比第一厚度部分(C)更薄的第二厚度部分(A)连续。配重膜(75)不是熔融除去,而是通过对配重膜(75)直接照射非热加工激光(Lf),从而通过非热加工来除去的。在此,非热加工激光(Lf)使用能够进行配重膜(75)的非热加工的脉冲宽度,即脉冲宽度为皮秒(2位以下)至飞秒的激光,例如飞秒激光。 | ||
搜索关键词: | 压电 振动 振动器 以及 它们 制造 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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