[发明专利]半导体晶体管器件及其制造方法在审

专利信息
申请号: 202010630300.3 申请日: 2020-07-03
公开(公告)号: CN112186039A 公开(公告)日: 2021-01-05
发明(设计)人: T.法伊尔 申请(专利权)人: 英飞凌科技奥地利有限公司
主分类号: H01L29/78 分类号: H01L29/78;H01L29/06;H01L21/336
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人: 刘茜璐;申屠伟进
地址: 奥地利*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明涉及一种半导体晶体管器件(1),具有:源极区(2);本体区(3),其包括竖直沟道区(3.1);漏极区(4);栅极区(6),其侧向位于沟道区(3.1)的旁边;通过掺杂形成的本体接触区(7);扩散阻挡层(20.1);以及由导电材料形成的导电区(8),其中本体接触区(7)电接触本体区(3),扩散阻挡层(20.1)布置在其之间,并且其中本体接触区(7)的掺杂与本体区(3)的掺杂相比具有相同的导电类型但是具有更高的浓度,并且其中导电区(8)具有接触区(8.1),其形成与本体接触区(7)的电接触,导电区(8)的接触区(8.1)竖直布置在沟道区(3.1)的上端(25.1)上方。
搜索关键词: 半导体 晶体管 器件 及其 制造 方法
【主权项】:
暂无信息
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