[发明专利]一种基于高温常压微波等离子体的材料合成系统

摘要

本发明公开了一种基于高温常压微波等离子体的材料合成系统，在高温常压微波等离子体炬产生系统中，通过引燃控制电极靠近中空导体输出端，在大功率微波作用下出现尖端击穿，通过中心导体输出的携带前驱材料的载气流，在大功率微波作用下产生尖端放电，形成稳定的高温常压等离子体炬。前驱材料经高温常压微波等离子炬裂解为活化粒子束流，为材料生长合成提供所需活化粒子。在材料生长及控制系统中，金属环与引燃控制电极在外部可调直流电源的控制下，在材料生长区域形成可调的静电场分布，活化粒子束流在可调的静电场作用下改变其运动状态，从而控制活化粒子束流中的正负离子、电子或粒子的运动速度或成分比例，实现材料生长过程的可控，解决了生长控制力弱的问题。