[发明专利]微型麦克风颗粒阻拦器及MEMS麦克风在审
| 申请号： | 202010621378.9 | 申请日： | 2020-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN111787473A | 公开（公告）日： | 2020-10-16 |
| 发明（设计）人： | 宫岛博志;林育菁 | 申请（专利权）人： | 歌尔微电子有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 温剑;王迎 |
| 地址： | 266000 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种微型麦克风颗粒阻拦器及MEMS麦克风，包括支撑器和设置在支撑器一侧的颗粒阻挡膜；其中，支撑器在沿颗粒阻挡膜的厚度方向上包括至少一层支撑件和至少一层应力消除结构。利用上述发明能够有效抑制支撑器形变对颗粒阻挡膜产生的影响，从而确保微型麦克风颗粒阻拦器及相关产品的整体稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 微型 麦克风 颗粒 阻拦 mems | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于歌尔微电子有限公司，未经歌尔微电子有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010621378.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
