[发明专利]谐振器及其制备方法在审
| 申请号： | 202010610985.5 | 申请日： | 2020-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN111884617A | 公开（公告）日： | 2020-11-03 |
| 发明（设计）人： | 吴珂;窦韶旭;韩琦;张丽蓉;庄玉召;杨帅;吕丽英;王超 | 申请（专利权）人： | 瑞声声学科技（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/17 | 分类号： | H03H9/17;H03H9/02 |
| 代理公司： | 深圳君信诚知识产权代理事务所(普通合伙) 44636 | 代理人： | 刘伟 |
| 地址： | 518057 广东省深圳市南山区高*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种谐振器结构，其包括衬底、形成于衬底之上的底电极、形成于底电极之上的压电层以及形成于压电层之上的顶电极，顶电极、压电层与底电极交叠区域为谐振区，谐振器还包括形成于谐振区中的空间，底电极远离衬底的表面为第一表面，顶电极朝向压电层的表面为第二表面，空间自第一表面向远离压电层方向延伸和/或自第二表面向远离压电层方向延伸；或是，压电层包括朝向底电极的底表面和与底表面相对设置且朝向顶电极的顶表面，空间自底表面朝向顶表面方向延伸或自顶表面朝向底表面方向延伸；本发明还提供谐振器的制备方法。与相关技术相比，本发明的谐振器结构可以使器件能量损失减少，Q值提高，插入损耗降低。 | ||
| 搜索关键词： | 谐振器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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