[发明专利]吸嘴管理装置及吸嘴管理方法有效
| 申请号： | 202010610568.0 | 申请日： | 2014-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN111921944B | 公开（公告）日： | 2023-04-14 |
| 发明（设计）人： | 星川和美;下坂贤司 | 申请（专利权）人： | 株式会社富士 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;F26B3/04;F26B21/00;H01L21/67;H05K13/04 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 杨青;安翔 |
| 地址： | 日本爱知*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种吸嘴管理装置及吸嘴管理方法。在用于对吸嘴(62)进行清洗的吸嘴清洗装置中，朝着吸嘴的前端部喷出的水的喷出方向由套筒(370)的锥状的第二内周面(374)变更。由此，例如，不仅是附着于吸嘴的前端部的下端面的附着物，而且附着于吸嘴的前端部的侧面的附着物也能够接触水，能够从吸嘴适当地除去附着物。而且，在吸嘴清洗装置中，吸嘴在由吸嘴货盘(152)支撑的状态下被清洗，但是在吸嘴清洗后，吸嘴由保持件保持，从吸嘴货盘取出。并且，从吸嘴货盘取出的吸嘴以单件的方式由吸嘴干燥装置进行干燥。由此，能够对清洗后的吸嘴适当地进行干燥。 | ||
| 搜索关键词： | 管理 装置 方法 | ||
【主权项】：
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